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EM-KLEEN
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PIE等离子清洗仪 EM-KLEEN
产品详情
用于SEM,FIB,XPS和ALD等真空分析和镀膜仪器的碳氢污染物清洗，支持ZEISS,HITACHI,JEOL,FEI,TESCAN,SPECS系统。
技术规格
工作气压：样品室：0.1-2.5毫托，兼容分子泵
射频电源：13.56MHz 75Wattt
产品外观
应用实例
